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最新資訊
近幾年大規(guī)模集成電路的生產有了快速發(fā)展,國家對超純水的水質也相應提出了更高的要求,超純水中所含雜質的允許含量越來越低,同時需要控制的雜質種類也越來越多。為了更好有效的去除各種雜質,需要各種處理手段的綜合運用。
電子廠專用純凈水設備分為三部分:預處理,初級處理和拋光精制處理。
1.預處理系統(tǒng)通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成;
2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設備等組成;
3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。
電子廠專用純凈水設備的工藝優(yōu)勢:
1.具有一定的靈活性和調節(jié)余地,以適應水量的變化,管理方便、維修簡單,合理地、充分地考慮操作自動化,減少操作勞動強度;
2.設備選型兼顧通用性和先進性,運行穩(wěn)定可靠、效率高、管理方便、維修維護工作量少、價格適中;設計美觀、布局合理,與周圍設施統(tǒng)一協調考慮;
3.盡量采取措施減小對周圍環(huán)境的影響,合理控制噪聲、氣味,妥善處理與處置固體廢棄物,避免二次污染;
4.在系統(tǒng)整體設計中引入模塊化概念,將主體處理設施分成幾個并列運行的處理單元,可根據生產的實際情況以及實際水量的大小靈活運行,節(jié)省運行費用;
5.設備結構緊湊,占地面積小,便于安裝和維修,節(jié)約用地。